CVD加热板

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发布日期：2024-06-11

产品简介：

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产品概述

适配机型	光伏 PECVD
平板显示	G4.5/G6+G6H/G8.6/G10.5 世代
应用行业	光伏 / 平板显示 /集成电路
表面处理	真空应用去油脱脂阳极
工作温度	≤450℃
温度均匀性	≤ ±3℃
升温速率	≤30min@400℃
热态泄漏电流	≤10mA

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