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PVD加热组件
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所属分类:PVD加热组件
访问人数:670
发布日期:2024-06-11
产品简介:
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产品概述
适配机型
PVD立式镀膜连续线/卧式镀膜连续线
应用行业
光伏/平板显示/集成电路
表面处理
真空应用 去油脱脂 单镜面 喷砂
工作温度
≤650℃
温度均匀性
≤±10℃
升温速率
≤30min@350℃
热态泄漏电流
≤10mA
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