PVD加热组件

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发布日期:2024-06-11

产品简介:

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  • 产品概述
适配机型PVD立式镀膜连续线/卧式镀膜连续线
应用行业光伏/平板显示/集成电路
表面处理真空应用 去油脱脂 单镜面 喷砂
工作温度≤650℃
温度均匀性≤±10℃
升温速率≤30min@350℃
热态泄漏电流≤10mA


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