PVD加热组件

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发布日期：2024-06-11

产品简介：

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产品概述

适配机型	PVD立式镀膜连续线/卧式镀膜连续线
应用行业	光伏/平板显示/集成电路
表面处理	真空应用去油脱脂单镜面喷砂
工作温度	≤650℃
温度均匀性	≤±10℃
升温速率	≤30min@350℃
热态泄漏电流	≤10mA

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